電子無塵車間要求：

潔凈室(區(qū))設計時，空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。

各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定；無要求時，可按本規(guī)范附錄A確定。

潔凈室可根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點、空氣潔凈度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等，也可按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

潔凈廠房內(nèi)各潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和潔凈室型式確定。

有下列情況之一者，凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設置：

1 運行班次或使用時間不同；

2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；

3 對溫、濕度控制要求差別大；

4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設備發(fā)熱相差懸殊；

5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；

6 系統(tǒng)風量過大的凈化空調(diào)系統(tǒng)。

氣流流型的設計，應符合下列要求：

1 氣流流型應滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝和空氣潔凈度等級的要求。空氣潔凈度等級為1～5級時，應采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6～9級時，宜采用非單向流；

凈化空調(diào)系統(tǒng)的型式應根據(jù)潔凈廠房的規(guī)模、空氣潔凈度等級和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點確定。潔凈室(區(qū))面積較小或只有局部要求凈化時，宜采用分散式凈化空調(diào)系統(tǒng)，

潔凈廠房的潔凈室(區(qū))送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據(jù)潔凈室(區(qū))使用功能和降低能量消耗的要求，經(jīng)技術經(jīng)濟比較，采用運行經(jīng)濟、節(jié)約能源的送風方式。

多套凈化空調(diào)系統(tǒng)同時運行或較大型電子工業(yè)潔凈廠房的凈化空調(diào)系統(tǒng)的新風，應集中處理。

風機過濾器機組的設置應符合下列要求：

1 應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；

2 應按潔凈室(區(qū))內(nèi)生產(chǎn)工藝對氣流流型的要求布置；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 送風量應能調(diào)節(jié)；

5 應便于安裝、維修及過濾器更換。滿布或布置率較高時，外殼強度應滿足檢修要求。

層流罩的設置應符合下列要求：

1 潔凈室(區(qū))內(nèi)等于或嚴于5級的局部凈化區(qū)域宜采用層流罩；

2 層流罩的形式和進風方式應根據(jù)生產(chǎn)工藝或設備需要選用；

3 終阻力時的疊加噪聲及振動應滿足生產(chǎn)工藝和本規(guī)范的規(guī)定；

4 安裝方式不應影響生產(chǎn)操作。